𞀄月12日,南方华创(行情002371,诊股)微电子自主开发的硅内涵APCVD设备荣获“第十二届中国半导体创新产品和技术项目”奖。

　　南方华创微电子硅内涵APCVD设备使用于功率半导体和集成电路范畴,兼容6和8硅内涵片的消费,适用于厚度5-130um范围的N型和P型内涵工艺,具有成膜平均性好、产能高、兼容性好、自动化水平高、占空中积小等优点。设备各项目标到达国际先进技术程度,填补了国际高功能硅内涵CVD设备空白,产品已进入商业化使用阶段,完成了批量销售。

　　“中国半导体创新产品和技术项目”奖旨在鼓舞半导体产业界的科技创新活动,评选活动由中国半导体行业协会、中国电子资料行业协会、中国电子公用设备工业协会和中国电子报社共同组织。