近日，晶圆设备制造商泛林(Lam Research)集团在京举行了媒体交流会，公司副总裁兼中国区总经理刘二壮博士和中国区首席技术官周梅生博士引见了公司的业绩和以后半导体制程的趋向等。

　　照片：泛林副总裁兼中国区总经理刘二壮博士(右)和中国区首席技术官周梅生博士

　　业绩亮丽

　　据Gartner公司2017年4月数据，Lam Research公司是世界第二大半导体设备制造商。依据泛林的数据，2016年财年营收64亿美元(截至2016年6月)，往年财年估计80亿美元(截止2017年6月)。2017日历年估计营收会接近100亿美元。

　　实践上，整个半导体设备市场是400亿美元。公司研发投入10亿美元/年，与同行的投入百分比持平。公司毛利46.5%，在设备业处于均匀值。设备发货最大的是韩国(得益于存储器大厂三星与海力士等)、日本(东芝等)、中国大陆占16%份额(注：比业内均匀占比15%略高一点)，台湾占14%。公司获得佳绩的缘由是由于研发投入大，技术先进。

　　将来开辟中国市场，泛林去年在中国新开了6个办公室，员工添加了45%。

　　制程已到原子级，难关不时被攻克

　　集成电路的构成，其中牵涉到十分复杂的工业流程。大致分红四个模块。首先是隔离/堆蓬勃发展的行业不仅给从业者提供了巨大的发展机遇，也带来了全新的挑战。积(deposition)，就仿佛在一个高山上要造房子，需求先规划好哪些局部是要隔离的，哪些是要有接触的。第二个模块是蚀刻与剥离(etch&strip)就会讲到晶体管的构成，当一个个晶体管构成当前，需求有接触孔和金属的互联。之后是清洗，还有客户支持。

　　这两头其实牵涉到上千步的进程。例如在65纳米制程，大约有900步进程，到了FinFET，就有1500步以上的流程。这上千步的进程，我们把其归类成了几大局部工序，诸如光刻、薄膜堆积、蚀刻、光阻去除/剥离、清洗、离子注入、热进程，当然还有检测和检验的设备。在这么多的工艺模块中，泛林半导体比拟集中在薄膜堆积、蚀刻、光阻去除和清洗方面。

　　薄膜堆积的难点是到原子级。等离子刻蚀分为导体和绝缘体刻蚀两类，关键是平均性，需求采用腔体技术，像打井，不只是惯例的竖井，如今竖井下还有横井，且要打得十分平均，由于厚度曾经到了原子层级，不允许有任何过失。

　　明天来看，世界最抢先的厂家曾经开端采用10纳米制程，7纳米、5纳米也都根本上定义好了。至此有两小气面的应战，一是才能与技术方面，另外是本钱。所以如今大家都在脑洞大开，不时逾越，把摩尔定律不停地往前推进。

　　实践上，大家充溢决心，由于以前以为65纳米制程曾经很难走下去了，如今可以把65纳米推进到45纳米，再到28纳米，经过新资料的引进和新构造的引进，挣脱了每一个技术的障碍，持续往前推进。

　　泛林从蚀刻起家，深宽比已到极限，如今刻蚀不只是技术，也是艺术。EUV(极深紫外)光刻机现在曾预期在16/14纳米时完成)，但目前看来技术还不成熟，且价钱昂扬(约1亿欧元)，因而人们不再采用曝光刻蚀的传统办法，而是经过多重成像(multi-patterning)，以精密的原子层面的薄膜堆积加上刻蚀来完成。即用堆积+刻蚀(多重成像)替代光学(EUV)手腕。

　　泛林与中国有着渊源。Lam是“林”姓的英文，是越南华裔David Lam先生在1980年于美国成立的，1990年公司上市，他根本把股票出清，分开了公司。林先生目前依然在硅谷很活泼，是很知名的投资人。在林先生分开后，公司就转变成职业经理人管理和传统上市公司的架构。

　　泛林对中国十分敌对。以后美国对华半导体制程设备出口有争议，但泛林依然自始自终地注重中国市场。例如2016年SEMICON上海，半导体制程大佬曾宾客盈门，去年美国收回中国要挟质疑后，往年SEMICON上海上，泛林的CEO依然到场。由于泛林的价值观是：custom trust。不知道从何时开始，个人信用渗透到生活的方方面面。图书、数码产品免押金借用，办理签证无需银行流水证明，甚至租车住酒店都不需要交付押金……

　　谈到很多公司为了表示对中国示好，会在中国投资建厂，泛林有何方案时。刘二壮博士以为，关注中国，不一定在中国建厂，而是能真正地帮到客户，为客户带来临时的价值。实践上，开展中国半导体业，钱最不是成绩，目前最缺的是人才。中国目前半导体人才有30万，2020年将需求70万人，有宏大的缺口。泛林的优势是能带来全球资源，在中国需求大规模疾速开展行业的当下，我们有才能调动全球的人力资源、技术资源，集中到中国来。

　　另外，除了“贴近客户”，泛林和国际的大学与政府机构之间还停止了亲密协作。泛林已和国际的五所大学有协作关系，比方奖学金项目、协作研发项目，次要目的在于激起在校先生的兴味，从而为半导体行业培育更多人才。此外，泛林和中国半导体设备资料产业协会、集成电路协会、封装协会等行业机构都有很亲密的协作关系。

　　小结

　　总之，泛林不时投入研发，为半导体行业带来先进的技术，同时泛林鼓舞新颖人才参加出去，为行业开展注入耐久生机。