上海2017年10月23日电 /美通社/ -- 中微半导体设备（上海）无限公司（以下简称“中微”）日前宣布，中微金属无机化合物气相堆积（MOCVD）设备Prismo A7 反响腔交付量打破100台，这是自去年中微MOCVD设备Prismo A7第一次推向市场以来的一个重要里程碑。Prismo A7是中微第二代MOCVD设备，次要用来停止氮化镓LED内涵加工以及其他使用。每台Prismo A7 设备可包容多达4个反响腔， 每个反响腔的产量是中微第一代MOCVD设备Prismo D-BLUE®的2倍多。

目前中微的MOCVD设备已在国际抢先的消费线上停止大规模量产，它们是全球大局部LED芯片的消费制造商，包括三安光电和华灿光电。中微自从正式发布MOCVD 设备Prismo A7以来，不时地接到了新的订单和反复订单，销售势头迅猛。估计截至往年年底，中微将付运近120台MOCVD反响腔。

三安光电副董事长兼总经理林科闯称，中微的MOCVD设备对三安的LED消费制造做出了很大的奉献。他指出：“中微的MOCVD设备具有优良的工艺功能、较高的消费效率和较低的运营本钱，我们和中微一同协作以满足先进技术的要求。此外，由于中微是一家外乡知名的微观加工高端设备公司，我们可以较便当地取得中微丰厚的技术支持和现场疾速呼应支持。我们很快乐和中微协作。”

中微资深副总裁、首席运营官兼MOCVD产品事业群总经理杜志游博士说：“我们感到很荣幸，可以为我们尊贵的客户提供牢靠、可信任的国产MOCVD设备，以满足他们关于MOCVD这一关键设备的技术要求。我们努力于经过不时创新并为其消费线提供新的处理方案来协助他们优化LED功能并降低消费本钱。我们十分感激和他们的业务协作。”

Prismo A7: 为LED超高产能而设计

中微MOCVD设备Prismo A7研发的重中之重在于协助客户优化LED功能并降低基于氮化镓LED的消费本钱。中微在设计机台时一直都努力于满足日益严厉的消费要求，紧凑的占空中积是中微机台设计中的一个特征，共同的配置使中微的MOCVD设备可包容多达4个反响腔，同时加工136片4英寸内涵晶片，并且每个反响腔都可以独立控制。

为进一步到达优化功能、进步产量并降低消费本钱的目的，中微在反响腔设计时特别关注氮化镓内涵的关键工艺要求。这些要求包括：

优良的工艺平均性：中微经过多区呼吁行业者在政府部门出台相关政策标准的之前，从业者一定要规范自己的行为准则健康有序的快速发展。气体注入零碎、具有共同设计的气体分配注入器和多区供热零碎，到达优良的平均性；

较高的设备牢靠性：中微的MOCVD设备运用了具有独立自主知识产权的业内认可的操作软件，以及成熟的自动化控制零碎。在设计、集成和测试中都遵照且契合SEMI规范，这些都使得中微的MOCVD设备具有较高的设备牢靠性；

杰出的工艺反复性：中微拥有独立自主知识产权的特殊边缘吹扫设计，以增加喷淋头上的颗粒生成，使得中微MOCVD设备具有杰出的反复性；

简便的操作性：中微的MOCVD设备采用了具有全自动化、可编程的反响腔开关零碎，以及为改换MO源鼓泡器而定制化设计的真空管路，使中微MOCVD设备在延续加工进程中不需求开腔清洗或维修。这一优势大大进步了中微MOCVD设备的应用率。

中微MOCVD设备Prismo A7已在中国大陆、台湾、日本、韩国和美国等国度和地域请求专利155项（包括受权和未受权），它们是中微1000多项专利中的重要组成局部。

Prismo A7是中微公司已请求的注册商标。